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微機電系統技術與整合課程

微機電系統技術與整合

教師:鍾震桂  分機:62111

信箱:ckchung@mail.ncku.edu.tw

課程說明:了解微機電系統技術的製程、材料與整合知識,以及在產品與應用的範疇,作為未來微奈米機電系統相關研究的一個基礎

 

LIGA/LIGA-like 製程

面型微加工 (Surface micromachining)

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