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半導體製程(Introduction to Microelectronic Fabrication Processes)

教師：陳國聲　　分機：62192

信箱：kschen@mail.ncku.edu.tw

課程說明：介紹半導體各重要的單元製程原理、相關的製程設計分析、製程整

合、以及一般積體電路元件設計製作之標準製程

Textbook：Course Notes

課程網頁：http://140.116.155.39/new_page_4.htm

半導體製程-Lithograpy 課程模組影片-2012/11/7

半導體製程-Lithograpy 課程模組影片-2012/11/2

半導體製程-Diffusion and Oxidation 課程模組影片-2012/10/31

半導體製程-Diffusion and Oxidation 課程模組影片-2012/10/26

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